集成光电子学实验室
Integrated  Opto-electronics  Laboratory

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 2ZS700-2/G型箱式镀膜机

 

 2ZS700-2/G型箱式镀膜机

主要功能及特色: 该设备真空度高,抽速快,备有双电子枪和两个热蒸发源,
有充气和压强精密控制系统,可进行各种高温氧化物的蒸馏和各种反应镀膜工艺;
备有光学膜厚控制和晶体膜厚控制系统,可进行薄膜制备时薄膜厚度的精确控制。
它的运行完全在自动模式,具有诸如出现晶体故障时完成运行、扩展内部检测等特
点。本实验室的光集成超净微加工实验室有光刻、扩散、衍射等微加工设备,有多
年从事光集成的微加工技术和科技人才,可进行各种特殊形状、微小面积多层介质
膜的镀制,能满足激光、微型传感器、航空航天等领域对镀制各种特殊膜系的要求。
膜系设计:承接各种膜系设计,提供光学薄膜的自动设计软件;可以镀制增透膜、
分光膜、干涉截止滤光片、带通滤波片;能进行偏振分光膜、消偏分光膜、反热滤
波片光和冷光镜等特殊膜系的设计和制备;对各种光纤端面镀制多层增透膜、高反
膜;在光集成芯片上镀制多层介质膜。

 

 

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