教师介绍

郭 彤

来源:更新时间:2023-02-22

姓 名 郭彤
职 称 教授
所在系别 精密仪器工程系
所属课题组 微纳制造与测试研究所
电子邮件 guotong@tju.edu.cn
办公地址 第10教学楼408室
主讲课程 自动控制原理、信号检测与处理、
数字信号处理器(DSP)、误差理论与数据处理、
微纳检测技术、表面光学计量技术、
光学干涉测量技术
导师类型 仪器科学与技术—博导/硕导
通讯地址 天津大学精密仪器与光电子工程学院
邮政编码 300072

个人经历或学术经历
  • 1995.9-1999.7 天津大学 测控技术与仪器/科技英语 双学士
  • 1999.9-2002.3 天津大学 测试计量技术及仪器 硕士
  • 2002.3-2005.1天津大学 测试计量技术及仪器 博士
  • 2003.6-2003.11 德国Ilmenau工业大学 进修
  • 2005.1-2006.12 天津大学 光学工程 博士后
  • 2006.7-2006.10 德国Aachen工业大学 高级访问学者
  • 2006.11-2022.6 天津大学 副教授
  • 2022.7- 天津大学 教授
  • 2008.10-2008.12 德国Ilmenau工业大学 高级访问学者
  • 2017.9-2018.2 英国Huddersfield大学 访问学者

研究方向

  光学精密测试技术、扫描探针测试技术、微纳坐标测量技术

科研项目、成果和专利

在研项目:

  1. 高校联合创新基金-“光栅投影测量高光反射抑制技术”(负责人)

完成项目:

  1. 国家重点研发计划项目课题-“精密表面的高分辨检测与激光制造协同技术(2018YFB1107602)”(主要完成人)
  2. 国家重点研发计划项目子课题-“晶圆级微结构三维形貌测量技术及集成光学测量仪器开发(2017YFF0107001)”(参加人)
  3. 国家自然科学基金面上项目-“基于双频激励动态调制AFM的高分辨亚表面结构表征系统与方法研究(51675379)”(负责人)
  4. 国家重点研发计划项目子课题-“基于纳米位移平台的白光干涉测量与纳米装配应用开发(2017YFF0105905)”(负责人)
  5. 天津市应用基础与前沿技术研究计划重点项目-“微阵列型复杂曲面光学反射镜的复合测量方法与系统(14JCZDJC39400)”(负责人)
  6. 国家科技支撑计划项目-“计量型扫描电镜及双探针扫描探针显微镜标准测量装置的建立(2011BAK15B02)”(合作单位负责人)
  7. 国家公益性行业项目-“微结构三维几何参数标准装置(201110051)”(合作单位负责人)
  8. 国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重大研究计划培育项目-“基于复合式测量方法的超精密元件跨尺度几何量计量与多参数评价(91023022)”(负责人)
  9. 天津市应用基础与前沿技术研究计划项目-“基于倾斜扫描干涉术的微器件几何量大范围测试方法研究(09JCYBJC05300)”(负责人)

授权专利:

  1. 基于白光干涉时频域分析的薄膜形貌检测系统及方法 (ZL 202110576413.4 2022.6.21)
  2. 一种应用于波长调制抗振干涉系统的位置粗获取方法 (ZL 202110300676.2 2022.4.19)
  3. 基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统与方法 (ZL 201910649339.7 2021.6.25)
  4. 基于白光干涉光谱的同步相移测量系统与方法 (ZL 201910395069.1 2021.4.6)
  5. 基于白光干涉光谱的大台阶高度的快速测量方法 (ZL 201910394820.6 2020.12.25)
  6. 基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统及方法 (ZL 201910209257.0 2020.9.1)
  7. Linnik型干涉光谱测量薄膜的非线性相位补偿方法 (ZL 201610312995.4 2018.8.28)
  8. 基于新型音叉探针的双频原子力测试系统与方法 (ZL 201510232561.9 2017.12.5)
  9. 微阵列型复杂曲面光学元件的复合测量系统与方法 (ZL 201410181248.2 2016.5.4)

国家标准:

  1. GB/T 33523.72-2022产品几何技术规范(GPS)表面结构:区域法 第72部分:XML文件格式x3p(第一完成人) 2022-12-30发布
  2. GB/T 26958.85-2022产品几何技术规范(GPS)滤波 第85部分:形态学区域滤波器:分割(第一完成人) 2022-12-30发布
  3. GB/T 33523.604-2022 产品几何技术规范(GPS)表面结构:区域法 第604部分:非接触(相干扫描干涉)式仪器的标称特性(第二完成人) 2022-12-30发布
  4. GB/T 33523.71-2020 产品几何技术规范(GPS)表面结构:区域法 第71部分:软件测量标准(第四完成人) 2020-12-14发布
  5. GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法(第一完成人) 2017-11-1发布
  6. GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法(第二完成人)2017-11-1发布 天津大学第二单位
  7. GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法(第二完成人) 2017-11-1发布

论文、专著

近期学术论文:


  1. 1) Lin Yuan, Tong Guo*, Dawei Tang, Haitao Liu, Xinyuan Guo, Simultaneous film thickness and refractive index measurement using a constrained fitting method in white light spectral interferometer, Optics Express, 2022, 30(1): 349-363
  2. 2) Tianqi Gu, Zude Luo, Tong Guo, Tianzhi Luo*, A new reconstruction method for measurement data with multiple outliers, IEEE Transactions on Instrumentation & Measurement, 2022, 71: 1005709
  3. 3) Xinyuan Guo, Tong Guo*, Lin Yuan, Measurement of film structure using time–frequency-domain fitting and white-light scanning interferometry, Machines, 2021, 9(12): 336
  4. 4) Tong Guo, Xinyuan Guo, Yangyang Wei, Multi-mode interferometric measurement system based on wavelength modulation and active vibration resistance, Optics Express, 2021, 29(22): 36689-36703
  5. 5) Tong Guo, Guanhua Zhao, Dawei Tang, Qianwen weng, Changbin Sun, Feng Gao, Xiangqian Jiang, High-accuracy simultaneous measurement of surface profile and film thickness using line-field white-light dispersive interferometer, Optics and Lasers in Engineering, 2021, 137: 106388
  6. 6) Lin Yuan, Tong Guo*, Zhongjun Qiu, Xing Fu, Xiaotang Hu, An analysis of the focus variation microscope and its application in the measurement of tool parameter, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2020, 21(12): 2249-2261
  7. 7) Tong Guo, Guanhua Zhao, Dawei Tang, Qianwen Weng, Feng Gao, Xiangqian Jiang, Accuracy improvement of a white-light spectral interferometer using a line-by-line spectral calibration method, Surface Topography: Metrology and Properties, 2020, 8(2): 025028
  8. 8) Tong Guo, Lin Yuan, Dawei Tang, Zhuo Chen, Feng Gao, Xiangqian Jiang, Analysis of the synchronous phase-shifting method in a white-light spectral interferometer, Applied Optics, 2020, 59(10): 2983-2991
  9. 9) Lin Yuan, Tong Guo*, Zhongjun Qiu, Xing Fu, Xiaotang Hu, Measurement of geometrical parameters of cutting tool based on focus variation technology, The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 2019, 105(5): 2383-2391
  10. 10) Tong Guo, Qianwen Weng, Bei Luo, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, Nonlinear phase error analysis of equivalent thickness in a white-light spectral interferometer, Nanotechnology and Precision Engineering, 2019, 2(2): 77-82
  11. 11) Tong Guo, Lin Yuan, Zhuo Chen, Feng Gao, Xiangqian Jiang, Rapid measurement of large step heights using a microscopic white-light spectral interferometer, Surface Topography: Metrology and Properties, 2019, 7(2): 025024
  12. 12) Tong Guo, Lin Yuan, Zhuo Chen, Minghui Li, Xing Fu and Xiaotang Hu, Single Point Linnik White-light Spectral Microscopic Interferometer for Surface Measurement, Surface Topography: Metrology and Properties, 2018, 6(3): 034008
  13. 13) Zhenyuan Song, Tong Guo*, Xing Fu, Xiaotang Hu, Residual vibration control based on a global search method in a high-speed white light scanning interferometer, Applied Optics, 2018, 57(13): 3415-3422
  14. 14) Tong Guo, Zhuo Chen, Minghui Li, Juhong Wu, Xing Fu, Xiaotang Hu, Film thickness measurement based on nonlinear phase analysis using a Linnik microscopic white-light spectral interferometer, Applied Optics, 2018, 57(12): 2955-2961
  15. 15) Tong Guo, Minghui Li, Yong Zhou, Lianfeng Ni, Xing Fu, Xiaotang Hu, Wavelength correction for thin film measurement in a microscopic white light spectral interferometer, Optik, 2017, 145: 188-201
  16. 16) Zhichao Wu, Tong Guo*, Ran Tao, Linyan Xu, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, The model analysis of a complex tuning fork probe and its application in bimodal atomic force microscopy, Applied Sciences, 2017, 7(2): 121
  17. 17) Tong Guo, Juhong Wu, Lianfeng Ni, Xing Fu, Xiaotang Hu, Initial estimation of thin film thickness measurement based on white light spectral interferometry, Thin Solid Films, 2016, 612: 267-273
  18. 18) Tong Guo, Feng Li, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, Multi-wavelength phase-shifting interferometry for micro-structures measurement based on color image processing in white light interference, Optics and Lasers in Engineering, 2016, 82: 41-47
  19. 19) Zhichao Wu, Tong Guo*, Ran Tao, Leihua Liu, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, A Unique Self-Sensing, Self-Actuating AFM Probe at Higher Eigenmodes, Sensors, 2015, 15(11): 28764-28771
  20. 20) 郭彤,李峰,倪连峰,陈津平,傅星,胡小唐,基于白光干涉彩色图像测量微结构的表面形貌,光学学报,2014,34(2): 0212003
  21. 21) Tong Guo, Longlong Wang, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, Development of a large-range atomic force microscope measuring system for optical free form surface characterization, Measurement Science and Technology, 2012, 23(11): 115401
  22. 22) Tong Guo, Siming Wang, Dante J. Dorantes-Gonzalez, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, Development of a Hybrid Atomic Force Microscopic Measurement System Combined with White Light Scanning Interferometry, Sensors, 2012, 12(1): 175-188
  23. 23) Tong Guo, Long Ma, Jian Zhao, Dante J. Dorantes-Gonzalez, Xing Fu, Xiaotang Hu, A nanomeasuring machine based white light tilt scanning interferometer for large scale optical array structure measurement, Optics and Lasers in Engineering, 2011, 49 (9-10): 1124-1130
  24. 24) Tong Guo, Long Ma, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, MEMS surface characterization based on white light phase shifting interferometry, Optical Engineering, 2011, 50(5): 053606
  25. 25) Jian Zhao, Tong Guo*, Long Ma, Xing Fu, Xiaotang Hu, Metrological atomic force microscope with self-sensing measuring head, Sensors and Actuators A : Physical, 2011, 167(2): 267-272
  26. 26) Zonghua Zhang, Haiyan Ma, Tong Guo, Sixiang Zhang, Jinping Chen, Simple, flexible calibration of phase calculation based three-dimensional imaging system, OPTICS LETTERS, 2011, 36(7): 1257-1259
  27. 27) Zhang Zonghua, Ma Haiyan, Zhang Sixiang, Guo Tong, Towers Catherine E., Towers David P., Simple calibration of a phase-based 3D imaging system based on uneven fringe projection, OPTICS LETTERS, 2011, 36(5): 627-629
  28. 28) Tong Guo, Hong Chang, Jinping Chen, Xing Fu, Xiaotang Hu, Micro-motion Analyzer used for Dynamic MEMS Characterization, Optics and Lasers in Engineering, 2009, 47(3-4): 512-517
  29. 29) Jinping Chen, Tong Guo, Xiaodong Hu, Xiaotang Hu, Analysis on vibration rejection ratio of scanning probe microscope, J. Vac. Sci. Technol. B, 2009, 27(3): 1413-1417
  30. 30) Li Yanning, Li Wen, Guo Tong, Yan Zhidan, Fu Xing, Hu Xiaotang, Study on structure optimization of a piezoelectric cantilever with a proof mass for vibration-powered energy harvesting system, J. Vac. Sci. Technol. B, 2009, 27(3): 1288-1290
  31. 31) Hu Xiaodong, Hu Chunguang, Chen Zhi, Guo Tong, Hu Xiaotang, Measuring in-plane and out-of-plane coupled motions of microstructures by stroboscopic microscopic interferometry, Optics and Laser Technology, 2007, 39(6): 1176-1182
  32. 32) Hu Xiaodong, Liu Gang, Hu Chunguang, Guo Tong, Hu Xiaotang, Characterization of static and dynamic microstructures by microscopic interferometry based on a Fourier transform method, Measurement Science and Technology, 2006, 17 (6): 1312-1318
  33. 33) Hu Xiaodong, Guo Tong, Fu Xing, Hu Xiaotang, Nanoscale oxide structures induced by dynamic electric field on Si with AFM, Applied Surface Science, 2003, 217(1-4): 34-38

专著:

  1. [1] 房丰洲,宫虎,张效栋,郭彤,2009,复杂曲面加工领域科学技术发展研究,机械工程学科发展报告,中国科学技术出版社。
  2. [2] 胡小唐,傅星,刘庆纲,李艳宁,胡晓东,郭彤,2009,微纳检测技术,天津大学出版社。
  3. [3] Tong Guo, Long Ma, Yan Bian, “MEMS characterization based on optical measuring methods” for book “Microelectromechanical Systems and Devices”(ISBN: 978-953-51-0306-6), Intech publisher, 2012.

奖励、荣誉和学术兼职
  1. 2021年第四届“天津大学工程硕士实习实践优秀成果获得者”指导教师
  2. 2018年荣获第八届高等教育天津市级教学成果二等奖
  3. 荣获2013年教育部技术发明一等奖
  4. 荣获2003年教育部科技进步一等奖
  5. 荣获“天津大学2006年度优秀博士学位论文”奖
  6. ISO GPS技术委员会/区域和轮廓表面结构工作组(TC213/WG16)技术专家
  7. 全国产品几何技术规范(GPS)标准化技术委员会(SAC/TC240)委员
  8. SPIE会员

 

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