百级超净间
万级超净间
光刻机
棱镜耦合仪（测折射率）
表面轮廓仪（测薄膜厚度）
电子束蒸发镀膜机
波导表征实验系统
器件性能表征实验系统
晶片抛光设备
晶片切割设备
电子束曝光系统（合作单位）
反应离子刻蚀设备（合作单位）
